PRODUCTS HYPERCOAT

HYPER COATHYPERCOAT

HYPERCOAT（ハイパーコート）は、日建塗装工業独自の真空技術を適用することによって、
プライマーレスでふっ素樹脂被膜を形成するコーティングです。

プライマー層を使用しないことで、純粋なふっ素樹脂だけの層を基材表面に形成することにより、
基材やプライマーからの不純物の溶出や発生を抑えます。

独自の真空技術を用いて、通常のふっ素樹脂コーティングでは必須であるプライマー層（基材と機能塗膜を接着させるために必要な下地塗膜）を使用することなく、ふっ素樹脂塗膜を基材へ直接密着させています。

真空環境で加工することにより金属基材の熱酸化が抑えられ、酸化被膜の形成を低減，安定した密着性を実現します。

プライマーを使用しないため、プライマーに含まれる微量の不純物（顔料に含有する金属イオンなど）の溶出を低減し、パーティクル・溶出源を嫌う半導体や電子部品の製造工程にも適用することができます。

紫外線によるプライマー層の劣化に起因する塗膜剥離が発生しないため、紫外線照射による殺菌等を行う工程でもふっ素樹脂コーティングを使用することができます。

薬液による基材腐食を防止するとともに、金属イオン溶出や汚染リスクを低減します。高純度環境における洗浄性の維持と、清掃性向上によるメンテンナンス負荷の低減に寄与します。

低摩擦特性によりウエハやマスク・基盤表面の擦れや傷つきを防止します。プライマーレス構成により被膜由来のパーティクル発生を抑制し、歩留まり向上と品質安定化に貢献します。

装置内部の過酷な薬品・プラズマ環境においても安定した被膜を維持し、腐食や付着物の堆積を抑制します。低アウトガス性とパーティクル低減により装置内部の清浄度を保ち、安定したプロセス運用に寄与します。

ふっ素樹脂コーティングの焼成は一般的に大気中で行われますが、加熱時に酸素と反応が進み、金属表面の熱酸化が生じます。酸化により、表面の変色やスケールの発生など製品品質へ影響を及ぼす場合があります。

HYPERCOATでは、焼成工程を真空環境下で行うため、酸素の影響を排除。基材の熱酸化による変色等を抑制しながらふっ素樹脂コーティングを施すことが可能です。

右の画像は、実際にステンレス基材へプライマーレスでふっ素樹脂を塗装し、真空焼成（左）と大気下焼成（右）で外観を比較したものです。大気下で焼成したものはやや黄変し基材酸化が認められるのに対し、真空焼成では変色は発生していません。

HYPERCOATの最大の特徴は、プライマーを使用せずにふっ素樹脂被膜を金属基材へ密着できる点にあります。真空環境下で焼成すると、基材表面への酸化被膜の生成を抑え、さらには表面凹凸（ブラスト面）にしっかりと食い込むことで、ふっ素樹脂と基材の界面を最適な状態に保ち、安定した密着力が得られます。

左の画像は、ステンレス基材にプライマーレスでふっ素樹脂を塗装したテストピースへ碁盤目カット試験（JIS K 5400）実施し、密着性を評価した結果です。大気下で焼成したものは多くの区画で塗膜の剥離が発生したのに対し、真空焼成品では塗膜の剥離は一切確認されませんでした。

この結果は、HYPERCOATがプライマーに依存しない高い密着性を有していることを明確に示したものになります。